快科技7月20日音书,韩国半导体零部件厂商CMTX成为首家径直为半导体工场提供超大单晶硅零部件的售后供应商,完成直径约590mm单晶硅接地环的原型分娩。
CMTX是一家专注于半导体开导零部件的厂商,通过子公司CELIC开发大直径单晶硅材料,建设了从材料分娩、晶锭助长到加工、蚀刻、清洗的垂直整合制造体系。
接地环是半导体蚀刻腔体中围绕上电极的最外层环形组件,认真浩大上电极电气现象、隐藏静电、截至等离子体远隔,对督察晶圆良率至关弥留。
传统接地环使用多晶硅制造,但多晶硅晶粒看法不同,蚀刻不均匀,名义毛糙、颗粒生成多,而单晶硅晶体结构均匀,蚀刻特质一致,能晋升良率、减少颗粒。
CMTX已完成原型分娩,缱绻运行客户认证,量产手艺尚未细目,将从接地环运行,慢慢膨大到其他超泰半导体零部件。
单晶硅零部件异日会不会全面替代多晶硅?你以为CMTX能在这个阛阓站稳脚跟吗?


